MEGATORR公司半導體工程用石英制品

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CMCP系列通用型真空計

CMCAP系列計量器(qì)是堅固的全焊接構造以Inconel隔膜爲特征的小型經濟型非加熱電容器(qì)。

該電子(zǐ)産品将因環境溫度變化(huà)而産生(shēng)的漂移控制在小限度的溫度範圍。

不受氣體的影響，在所有環境下(xià)都可以測量壓力。

介紹：

電容隔膜規（CDG）是指氣體種類不受影響，可以準确測量真空壓。

Brooks公司*的傳感器(qì)技術：對US Patent No、4823603）進行數字溫度控制，

通過組合數字校(xiào)準，實現了(le)更高精度、長期穩定性。

XacTorr數字真空壓力計

數字電路(lù)裝載的電容計量器(qì)，CMX系列，由于獨自的傳感器(qì)技術US Patent No.4823603裏組合數字溫度控制，數字校(xiào)準，實現了(le)更高精度，長期穩定性。

介紹：

電容隔膜規（CDG）是指氣體種類不受影響，可以準确測量真空壓。

Brooks公司*的傳感器(qì)技術對US Patent No、4823603進行數字溫度控制，

通過組合數字校(xiào)準，實現了(le)更高精度、長期穩定性。

非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快(kuài)速響應，通過與AP系列控制器(qì)/電容計并用，可以在半導體等工藝中獲得高速響應、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中，随着過程的多樣化(huà)，壓力控制範圍也(yě)呈現出多樣化(huà)的趨勢，特别是在低(dī)真空（高壓）下(xià)壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也(yě)一(yī)樣，随着過程氣體的多樣化(huà)，變得更需要溫度。爲了(le)滿足您的要求而開發的是這個寬帶閥門。

寬壓力控制範圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下(xià)（760Torr～70mTorr以下(xià)）可以控制，還能(néng)加熱到200℃。

壓力控制器(qì)AP-420

AP系列是電容計量器(qì)（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器(qì)。可以從自适應/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，确保半導體/FPD/太陽能(néng)電池等制造裝置所要求的高速應答(dá)、高再現性的真空壓力控制。也(yě)可以通過前面闆進行設定，操作(zuò)性非常容易。另外，由于CE标志、RoHS對應産品，被世界上(shàng)所有産業的量産設備所使用

壓力控制器(qì)AP-100R

Model AP-100R将制造裝置中的真空室進行真空排氣時，通過改變閥門電導，作(zuò)爲控制真空排氣速度的下(xià)遊壓力控制裝置使用。

焊接金(jīn)屬

焊接膠體作(zuò)爲一(yī)般真空設備、半導體制造裝置中可動部分(fēn)的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特别是爲了(le)保持裝置可動部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質金(jīn)屬的焊接金(jīn)屬。本公司的焊接金(jīn)屬在ISO 9001認證工廠進行管理(lǐ)、制造、檢查，提供令人(rén)放(fàng)心的高品質焊接金(jīn)屬。

石英制品

在半導體工程中使用的石英産品，特别要求品質嚴格。本公司經營的Wonk Quartz公司生(shēng)産的石英制品是ISO 9002認證工廠生(shēng)産的高質量、高精度的産品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上(shàng)部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中産生(shēng)的反應産物和粉塵在Chamber内和排氣系統中累積過程中如(rú)果泵緊急停止的話，會引起Chamber内粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber内産品污染。通過使用Chamber防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統，防止粉塵逆流，保護産品不受污染。

真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生(shēng)産的電容表配備了(le)SetPoint繼電器(qì)的顯示器(qì)和電源供應單元。可以連接一(yī)台或兩台電容表。内置2個或4個獨立動作(zuò)的定點繼電器(qì)。連接帶有溫度支架輸出的電容表時，可以顯示溫度支架。