MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥
逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安裝在真空排氣泵上(shàng)部,是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中産生(shēng)的反應産物和粉塵在Chamber内和排氣系統中累積過程中如(rú)果泵緊急停止的話,會引起Chamber内粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber内産品污染。通過使用Chamber防護,在停止泵時,通過瞬間切斷排氣系統,防止粉
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MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥
MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥
逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安裝在真空排氣泵上(shàng)部,是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中産生(shēng)的反應産物和粉塵在Chamber内和排氣系統中累積過程中如(rú)果泵緊急停止的話,會引起Chamber内粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber内産品污染。通過使用Chamber防護,在停止泵時,通過瞬間切斷排氣系統,防止粉塵逆流,保護産品不受污染。
非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通過閥部0~90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。各種真空室(蝕刻裝置等)的壓力控制可以快(kuài)速響應,通過與AP系列控制器(qì)/電容計并用,可以在半導體等工藝中獲得高速響應、真空壓力控制。
寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空壓力控制中,随着過程的多樣化(huà),壓力控制範圍也(yě)呈現出多樣化(huà)的趨勢,特别是在低(dī)真空(高壓)下(xià)壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也(yě)一(yī)樣,随着過程氣體的多樣化(huà),變得更需要溫度。爲了(le)滿足您的要求而開發的是這個寬帶閥門。
寬壓力控制範圍:101.33kPa(大氣壓)~10Pa以下(xià)(760Torr~70mTorr以下(xià))可以控制,還能(néng)加熱到200℃。