MEGATORR真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S
真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S
MS-1/MS-2S是Brooks公司生(shēng)産的電容表配備了(le)SetPoint繼電器(qì)的顯示器(qì)和電源供應單元。可以連接一(yī)台或兩台電容表。内置2個或4個獨立動作(zuò)的定點繼電器(qì)。連接帶有溫度支架輸出的電容表時,可以顯示溫度支架。
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MEGATORR真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S
MEGATORR真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S
焊接金(jīn)屬
焊接膠體作(zuò)爲一(yī)般真空設備、半導體制造裝置中可動部分(fēn)的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特别是爲了(le)保持裝置可動部的真空,需要考慮安全性/氣密性和耐久性,使用高品質金(jīn)屬的焊接金(jīn)屬。本公司的焊接金(jīn)屬在ISO 9001認證工廠進行管理(lǐ)、制造、檢查,提供令人(rén)放(fàng)心的高品質焊接金(jīn)屬。
石英制品
在半導體工程中使用的石英産品,特别要求品質嚴格。本公司經營的Wonk Quartz公司生(shēng)産的石英制品是ISO 9002認證工廠生(shēng)産的高質量、高精度的産品。備齊各種石英。
逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安裝在真空排氣泵上(shàng)部,是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中産生(shēng)的反應産物和粉塵在Chamber内和排氣系統中累積過程中如(rú)果泵緊急停止的話,會引起Chamber内粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber内産品污染。通過使用Chamber防護,在停止泵時,通過瞬間切斷排氣系統,防止粉塵逆流,保護産品不受污染。
真空計用電源顯示器(qì)MS-1S,MS-2S
MS-1/MS-2S是Brooks公司生(shēng)産的電容表配備了(le)SetPoint繼電器(qì)的顯示器(qì)和電源供應單元。可以連接一(yī)台或兩台電容表。内置2個或4個獨立動作(zuò)的定點繼電器(qì)。連接帶有溫度支架輸出的電容表時,可以顯示溫度支架。