ASUMI技研準分(fēn)子(zǐ)照射裝置定制事(shì)例 紅外發射器(qì)件

ASUMI技研準分(fēn)子(zǐ)照射裝置定制事(shì)例

準分(fēn)子(zǐ)照射裝置定制事(shì)例

用于R&D用掃描式準分(fēn)子(zǐ)照射裝置( 400mm )照射寬度400mm的準分(fēn)子(zǐ)照射單元的掃描式照射裝置。 大工件尺寸爲400×800mm。 型号ASM400 E

型号 ASM400 Excimer

發光波長 172納米

處理(lǐ)對象物 W400mm×D800mm以下(xià)、厚度40mm以下(xià)

照射距離調整 帶調整用實驗室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( w ) 760 mm×( d ) 200 mm×( h ) 630 mm (突起物除外)

概算(suàn)重量 約12.7 kg (本體100kg、照射單元10.3kg燈電源12.4kg )

本體材質 SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商(shāng) 濱松光子(zǐ)學株式會社制

型号 flatexcimerex-400 l 1751-01

照射強度 65mW/c㎡

照射面尺寸 400mm×38mm

準分(fēn)子(zǐ)有效照射距離5mm以内推薦

冷卻方式 強制空冷

Ø 輸送部

桌面材質 A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理(lǐ)速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理(lǐ)可動範圍 1000mm

Ø 其他

觸摸屏 7英寸單色觸摸屏

食譜數 20方法(處理(lǐ)速度、可設定照射時間)

監視器(qì)功能(néng) 現在速度，帶現在位置顯示功能(néng)

排臭設備 内置臭氧催化(huà)劑(風扇強制排氣)

公用事(shì)業公司 單相200 v 50/60 Hz 100 va

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