ASUMI技研株式會社準分(fēn)子(zǐ)照射裝置

ASUMI技研株式會社準分(fēn)子(zǐ)照射裝置

準分(fēn)子(zǐ)照射裝置

采用以172nm紫外線爲主波長的準分(fēn)子(zǐ)照射裝置進行表面改性。因爲采用了(le)RF (高頻)放(fàng)電燈，閃爍少的穩定的輸出功率。 另外采用平面型燈，大面積實現了(le)均勻的照射

準分(fēn)子(zǐ)照射裝置(主波長: 172nm )

Ø 因爲采用了(le)RF放(fàng)電燈，閃爍少的穩定的輸出功率。 采用平面型燈，大面積實現均勻的照射

Ø 準分(fēn)子(zǐ)燈利用了(le)封入稀有氣體的燈内産生(shēng)的放(fàng)電等離子(zǐ)體(電介質阻擋放(fàng)電)産生(shēng)的光(準分(fēn)子(zǐ)光)。

Ø 主要波長有126nm(Ar2)、146nm(Kr2)、172nm(Xe2)、222nm(KrCl )、308nm(XeCl )。

Ø 本公司采用利用了(le)Xe2的以172nm爲主波長的燈單元，提供表面改性、親水化(huà)處理(lǐ)(潤濕性方向上(shàng))用的裝置

Ø 與将放(fàng)電直接照射到工件的電暈放(fàng)電、等離子(zǐ)體方式不同，準分(fēn)子(zǐ)照射隻是真空紫外線的照射，對工件幾乎沒有損傷。

Ø 與電極的濺射産生(shēng)粉塵的電暈放(fàng)電、等離子(zǐ)體方式不同，可進行清潔處理(lǐ)。

Ø 利用光的準分(fēn)子(zǐ)照射沒有處理(lǐ)不均。

Ø 可瞬時點亮、熄滅

Ø 因爲采用了(le)RF (高頻)放(fàng)電燈，閃爍少的穩定的輸出功率。

Ø 采用平面型燈，大面積實現均勻的照射

ASUMI技研株式會社準分(fēn)子(zǐ)照射裝置

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