ASUMI技研株式會社掃描準分(fēn)子(zǐ)發射器(qì) 紅外發射器(qì)件

ASUMI技研株式會社掃描準分(fēn)子(zǐ)發射器(qì)

掃描準分(fēn)子(zǐ)發射器(qì)

将以172nm爲主波長的準分(fēn)子(zǐ)照射單元和掃描用載物台、臭氧分(fēn)解裝置一(yī)體化(huà)，僅用100V的電源就(jiù)能(néng)簡單且安全地進行準分(fēn)子(zǐ)表面改性實驗的裝置。 【特征】掃描用

可通過掃描用載物台進行比以往更大面積的處理(lǐ)。

臭氧分(fēn)解裝置一(yī)體型，無需排氣設備等

Ø 掃描準分(fēn)子(zǐ)發射器(qì)

型号 ASM86 Excimer

發光波長 172納米

處理(lǐ)對象物 W86mm×D120mm以下(xià)、厚度40mm以下(xià)

照射距離調整 帶調整用實驗室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物除外)

概算(suàn)重量 約25kg (本體20kg、照射單元4.8kg )

本體材質 SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商(shāng) 濱松光子(zǐ)學株式會社制

型号 FLAT EXCIMER EX-86U L13129

照射強度 65mW/c㎡

照射面尺寸 86mm×40mm

準分(fēn)子(zǐ)有效照射距離5mm以内推薦

冷卻方式 強制空冷

Ø 輸送部

桌面材質 A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理(lǐ)速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理(lǐ)可動範圍 240毫米

Ø 其他

觸摸屏 4英寸單色觸摸屏

食譜數 20方法(處理(lǐ)速度、可設定照射時間)

監視器(qì)功能(néng) 當前速度、當前位置、剩馀時間帶顯示功能(néng)

排臭設備 内置臭氧催化(huà)劑(風扇強制排氣)

實用程序 AC100V 50/60Hz 400VA

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