東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX
抛光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
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東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX
東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX
抛光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
PG3000RMX特征：
除了(le)“PG300/PG200"工藝之外，還實現了(le)從薄化(huà)晶圓上(shàng)貼附的表面保護膠帶剝離到将晶圓貼附到切割框上(shàng)的工藝，在一(yī)台設備中實現。
粗磨、精磨、抛光工序用一(yī)台設備實現晶圓的雙面清洗。無需使用化(huà)學品即可去除受損層。不會因濕法工藝而産生(shēng)粉塵。
數據管理(lǐ)和通信，包括與傳輸機制一(yī)緻的RM模塊，以限度地減少薄晶圓傳輸的數量。
高剛性磨床HRG3000RMX特征：
實現短時間内無損傷加工。加工成本低(dī)。高精度加工。達到鏡面效果。
高剛性磨床HRG300/HRG300A特征：
通過将加工點配置在三角形排列的滑動導軌的中心位置，并将橫向進給進給軸配置在加工點上(shàng)，具有對磨削負荷的機械變形小的結構。
由于其高剛性，它可以在短時間内加工，同時抑制磨削損傷。
由于其高剛性，可以進行适當的自銳性加工。延長砂輪的使用壽命。
配備用于批處理(lǐ)的過程中測量儀，在批處理(lǐ)過程中測量晶圓厚度。
全自動高剛性二軸磨床HRG200X特征：
實現短時間内無損傷加工。
加工成本低(dī)。
高精度加工。
達到鏡面效果。
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