ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理(lǐ)

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理(lǐ)

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理(lǐ)

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10

規格:

X・Y平行移動：±10mm

精度刻度：0.01m/1div

安裝法蘭：ICF70

玫瑰内徑：40mm

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)

X機械軸

X-70/70-M

規格

X方向移動：±12.5mm（線程馬達驅動）、法蘭面間110mm、分(fēn)辨率0.04μm/pulse、帶限位開關

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm内徑φ使用40mm

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)

回轉導入機KMMR-34

本産品是可用于導入真空中安裝的機器(qì)的旋轉運動的超高真空區域的旋轉導入機。

規格

連接法蘭：ICF34

前端軸直徑：6mm

引進軸長度：法蘭面～35L

容許扭矩：4kg/f（磁耦合）

重量：0.55kg

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)

回轉導入機VBR-70

規格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N・m手動

連接法蘭ICF70FH

旋轉棒φ8（SUS304）帶限位器(qì)

約820g

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)