SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

多軸機械臂VM-150

介紹：

本産品是通過超高真空中的冷凍機、高真空中的冷凍機等的移動及測定等實驗，設計成能(néng)夠正确且再現性地操作(zuò)大氣中的上(shàng)下(xià)移動或X.Y的平行移動，并進行精密的制作(zuò)、組裝，以達到功能(néng)的優秀和精度本公司的産品廣泛應用于各方面。

規格：

XY平行移動：移動±10mm

移動密度10μ以下(xià)

Z方向移動：移動130mm

移動密度50μ以下(xià)

安裝法蘭：上(shàng)部・・ICF70FT

下(xià)部…ICF152 FH

焊接貝羅：外徑60mm内徑40mm

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)

簡易型機械臂KMV-70　ST100

本産品通過超高真空中樣品等的移動及測定等實驗設計，可在大氣中進行上(shàng)下(xià)移動或X.Y的平行移動，本産品廣泛應用于各方面。

規格

X.Y平行移動：移動±5mm

Z軸移動量：100m/m

安裝法蘭：上(shàng)部法蘭ICF70FT

下(xià)部法蘭ICF70FH

焊接貝羅：使用内徑40mm

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)

冷凍機用機械臂CLM-70/70

本産品是通過超高真空中的冷凍機、高真空中的冷凍機等的移動及測定等實驗，設計成能(néng)夠正确且再現性地操作(zuò)大氣中的上(shàng)下(xià)移動或X.Y的平行移動，并進行精密的制作(zuò)、組裝，以達到功能(néng)的優秀和精度本公司的産品廣泛應用于各方面。也(yě)制作(zuò)XY軸、Z軸的馬達驅動。

規格

X.Y平行移動：移動±6.5mm（手動）、移動精度10μm以下(xià)

Z方向移動：100～200m/m（手動）、移動精度50μm以下(xià)

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm内徑φ使用40mm

容許洩漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下(xià)