TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300

TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300

TOYOKOKAGAKU東橫化(huà)學清洗機M300

SiC功率器(qì)件熱處理(lǐ)設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

清洗機M300,M800；ALD設備SAL1000

活化(huà)退火(huǒ)設備Ailesic-2000特征：

支持2000°C的SiC激活退火(huǒ)。

新(xīn)開發的加熱技術實現了(le)超快(kuài)速加熱和冷卻特性。

滿足客戶對小批量短時間處理(lǐ)的需求。

通過相同的加熱技術和高精度溫度控制技術實現穩定的工藝性能(néng)，有助于穩定生(shēng)産。

從開發到6英寸高産能(néng)量産的豐富陣容。

在大規模生(shēng)産工廠中的良好(hǎo)(hǎo)運營記錄。

應用：活化(huà)退火(huǒ)。

CMP漿料供應系統的特點：

并聯供電系統穩定供電。通過觸摸屏輕松操作(zuò)。

高精度複合（可從多種複合方式中選擇複合方式。）。

自動沖洗功能(néng)。透明内膽，内部狀态一(yī)目了(le)然。

化(huà)學恒流量控制裝置概述：

化(huà)學恒流控制裝置主要用于CMP漿料的供給，也(yě)可用于純水、氫氟酸等多種化(huà)學物質的混合。

與傳統的使用稱量罐和混合罐的批量式供應設備相比，該機組具有：

1. 在線混合限度地減少化(huà)學品消耗

2. 批量供應設備無需清洗罐

3. 設備尺寸可以減小

M300是一(yī)款半自動FOUP/carrier 清洗機，結構緊湊，可一(yī)次處理(lǐ)大量工件。可處理(lǐ)晶圓載具、SMIF POD、各種傳送箱、300mm用FOUP、FOSB、RSP及各種工件。這是一(yī)種批量處理(lǐ)型清潔/幹燥設備，其中工件被設置在安裝在腔室内被稱爲柱的架狀框架上(shàng)的插入物中，然後在旋轉的同時進行清潔和幹燥。刀片的形狀因工件而異，隻需輕輕一(yī)按即可更換，因此可輕松切換對象工件。

特征：高容量/小占地面積。

超淨噴霧系統。擁有成本低(dī)。

用于幹燥的紅外線加熱器(qì)系統。

通過一(yī)鍵式更換刀片支持各種工件。

SAL1000 ALD設備是一(yī)款可安裝在桌面上(shàng)的緊湊型研發設備。

内置兩種前驅體，沉積性能(néng)在φ100以内±3%（AlO3）以内。

此外，通過使設備更緊湊，我們減少了(le)零件數量。

特征：

沉積過程可以在前觸摸屏上(shàng)設置，壓力和操作(zuò)狀态可以檢查。

從抽真空到成膜的設定過程自動進行，成膜完成後，按下(xià)排氣按鈕即可取出基闆。

配備2個前驅體系統，兼容基闆高達φ4"。